Предельное остаточное давление
≤5×10⁻¹¹ мбар (при оснащении достаточным количеством вакуумных насосов и после длительного прогрева)
Диапазон энергий
0,5–1500 эВ
Энергия пропускания
1–200 эВ; доступно несколько значений
Энергетическое разрешение
≤1,8 мэВ (FWHM) при Eₚ = 2 эВ и Eₖ = 9,1 эВ
Угловое разрешение
≤0,1° при размере пятна 0,1 мм
Режимы работы электронно-оптической системы
Режим пропускания; режим с угловым разрешением
Угловой диапазон
±15°, ±7°, ±3,5°
Режимы регистрации
Фиксированный режим; режим сканирования
Криогенный манипулятор образца
6-осевой криогенный манипулятор с открытым или замкнутым циклом охлаждения
Минимальная температура
Типичное значение — 6 К; минимально достижимое — 4 К
Способ охлаждения
Охлаждение с открытым или замкнутым циклом
Линейное перемещение
Три степени свободы — X, Y, Z; диапазон перемещения — по заказу; наилучшая точность позиционирования — 2 мкм
Вращение
Три вращательные степени свободы: полярный угол, азимутальный угол и наклон; минимальный шаг — 0,001°
Источник ультрафиолетового излучения
VUV430-AF-MONO и другие
Полный поток фотонов
≥6×10¹¹ фотонов/с
Рабочие газы
He, Kr, Xe и другие
Источник возбуждения
Твердотельный радиочастотный генератор
Монохроматор
Тороидальная отражательная дифракционная решётка или двухкристальный монохроматор
Система прогрева
Прогрев с циркуляцией горячего воздуха; максимальная температура 200 °C
Система управления
Отображение и контроль параметров вакуума в реальном времени; защита системы
